Соломкин, Федор Юрьевич - Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.10

Соломкин, Федор Юрьевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Соломкин, Федор Юрьевич.
Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.10 / Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе. - Санкт-Петербург, 1997. - 16 с.

Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
FB 9 98-5/2681-5
FB 9 98-5/2682-3

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеНанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.10
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЕЭК 16.12.1998
Дата поступления в ЭБ 12.12.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиФиз.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1997
Физическое описание16 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодЗ252.4-060.7,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-5/2681-5
FB 9 98-5/2682-3
Электронный адрес Электронный ресурс