Кудря, Владимир Петрович - Оптимизационный метод синтеза шаблонов в фотолитографии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Кудря, Владимир Петрович.

Оптимизационный метод синтеза шаблонов в фотолитографии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / АН СССР. Физ.-мат. ин-т. - Москва, 1990. - 12 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 90-5/4024-7
FB 9 90-5/4025-5

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеОптимизационный метод синтеза шаблонов в фотолитографии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 13.08.1990
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиАН СССР. Физ.-мат. ин-т
Выходные данныеМосква, 1990
Физическое описание12 с
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-060.6,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-5/4024-7
FB 9 90-5/4025-5