Левенец, Владислав Владимирович - Оптимизация методов химической подготовки и пассивации поверхности Si с применением фторсодержащих кислот : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Левенец, Владислав Владимирович.
Левенец, Владислав Владимирович.

Оптимизация методов химической подготовки и пассивации поверхности Si с применением фторсодержащих кислот : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / НИИ физ. проблем. - Москва, 1994. - 19 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 94-2/2532-6

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеОптимизация методов химической подготовки и пассивации поверхности Si с применением фторсодержащих кислот : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 22.09.1994
Дата поступления в ЭБ 03.06.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНИИ физ. проблем
Выходные данныеМосква, 1994
Физическое описание19 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ844.15-060.6-642.1,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 94-2/2532-6
Электронный адрес Электронный ресурс