Поляков, Вадим Витальевич - Осаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Поляков, Вадим Витальевич.
Поляков, Вадим Витальевич.

Осаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Таганрогский радиотехн. ун-т. - Таганрог, 1995. - 16 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 96-3/4121-6
FB 9 96-3/4122-4

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеОсаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 27.03.1997
Дата поступления в ЭБ 14.08.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиТаганрогский радиотехн. ун-т
Выходные данныеТаганрог, 1995
Физическое описание16 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-060.7,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 96-3/4121-6
FB 9 96-3/4122-4
Электронный адрес Электронный ресурс