Кириллов, Андрей Николаевич - Оптимизация процессов электронной литографии при формировании сложных структур с субмкронным разрешением : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Кириллов, Андрей Николаевич.

Оптимизация процессов электронной литографии при формировании сложных структур с субмкронным разрешением : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / АН СССР. Физ.-технол. ин-т. - Москва, 1990. - 18 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 90-6/487-3
FB 9 90-6/488-1

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеОптимизация процессов электронной литографии при формировании сложных структур с субмкронным разрешением : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 17.09.1990
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиАН СССР. Физ.-технол. ин-т
Выходные данныеМосква, 1990
Физическое описание18 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.1-060.6-64,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-6/487-3
FB 9 90-6/488-1