Кириллов, Андрей Николаевич. - Оптимизация процессов электронной литографии при формировании сложных структур с субмкронным разрешением : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / АН СССР. Физ.-технол. ин-т. - Москва, 1990. - 18 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Кириллов, Андрей Николаевич.
Оптимизация процессов электронной литографии при формировании сложных структур с субмкронным разрешением : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / АН СССР. Физ.-технол. ин-т. - Москва, 1990. - 18 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Оптимизация процессов электронной литографии при формировании сложных структур с субмкронным разрешением : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / АН СССР. Физ.-технол. ин-т. - Москва, 1990. - 18 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 90-6/487-3
FB 9 90-6/488-1
Описание
| Автор | Кириллов, Андрей Николаевич |
|---|---|
| Заглавие | Оптимизация процессов электронной литографии при формировании сложных структур с субмкронным разрешением : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 17.09.1990 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | АН СССР. Физ.-технол. ин-т |
| Выходные данные | Москва, 1990 |
| Физическое описание | 18 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | З844.1-060.6-64,0 |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 90-6/487-3 |
| FB 9 90-6/488-1 |
