Кравцова, Людмила Владимировна - Оптимизация технологических параметров изготовления полупроводниковых приборов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07

Карточка

Кравцова, Людмила Владимировна.

Оптимизация технологических параметров изготовления полупроводниковых приборов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07 / ЛГУ. - Ленинград, 1990. - 15 с.
Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
FB 9 90-10/3254-7
FB 9 90-10/3255-5

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеОптимизация технологических параметров изготовления полупроводниковых приборов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07
Дата поступления в ЭК 11.03.1991
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиЛГУ
Выходные данныеЛенинград, 1990
Физическое описание15 с.
ТемаАвтоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
BBK-кодЗ852-06-64,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-10/3254-7
FB 9 90-10/3255-5