Дульцев, Федор Николаевич - Процессы адсорбции и травление слоев SiO2 атомарным фтором и фтористым водородом : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04

Карточка

Дульцев, Федор Николаевич.
Дульцев, Федор Николаевич.

Процессы адсорбции и травление слоев SiO2 атомарным фтором и фтористым водородом : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04 / Ин-т химии твердого тела и переработки минерального сырья. - Новосибирск, 1990. - 18 с.
Физическая химия
FB 9 90-11/842-x
FB 9 90-11/843-8

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПроцессы адсорбции и травление слоев SiO2 атомарным фтором и фтористым водородом : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 27.03.1991
Дата поступления в ЭБ 11.10.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т химии твердого тела и переработки минерального сырья
Выходные данныеНовосибирск, 1990
Физическое описание18 с.
ТемаФизическая химия
BBK-кодГ583.25,0
Г582.7,0
Специальность02.00.04: Физическая химия
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-11/842-x
FB 9 90-11/843-8
Электронный адрес Электронный ресурс