Булыгина, Екатерина Вадимовна - Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07

Карточка

Булыгина, Екатерина Вадимовна.
Булыгина, Екатерина Вадимовна.

Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 1997. - 16 с.
Оборудование производства электронной техники
FB 9 97-3/2918-9
FB 9 97-3/2919-7

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПовышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 17.12.1997
Дата поступления в ЭБ 05.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМГТУ им. Н. Э. Баумана
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание16 с.
ТемаОборудование производства электронной техники
BBK-кодЗ844.152-060.7-43,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 97-3/2918-9
FB 9 97-3/2919-7
Электронный адрес Электронный ресурс