Пак Ен Сон - Получение диэлектрических покрытий на кремнии термообработкой олигоорганоциклосилоксанов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Пак Ен Сон.

Получение диэлектрических покрытий на кремнии термообработкой олигоорганоциклосилоксанов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т тонкой хим. технологии им. М. В. Ломоносова. - Москва, 1990. - 19 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 90-3/1085-3
FB 9 90-3/1086-1

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПолучение диэлектрических покрытий на кремнии термообработкой олигоорганоциклосилоксанов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 19.04.1990
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. ин-т тонкой хим. технологии им. М. В. Ломоносова
Выходные данныеМосква, 1990
Физическое описание19 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ852-060.7-64,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-3/1085-3
FB 9 90-3/1086-1