Марголин, Владимир Игоревич. - Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / Санкт-Петербург. электротехн. ун-т. - Санкт-Петербург, 1998. - 29 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Марголин, Владимир Игоревич.
Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / Санкт-Петербург. электротехн. ун-т. - Санкт-Петербург, 1998. - 29 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / Санкт-Петербург. электротехн. ун-т. - Санкт-Петербург, 1998. - 29 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 98-5/3327-7
FB 9 98-5/3328-5
Описание
| Автор | Марголин, Владимир Игоревич |
|---|---|
| Заглавие | Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 22.12.1998 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 01.04.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Санкт-Петербург. электротехн. ун-т |
| Выходные данные | Санкт-Петербург, 1998 |
| Физическое описание | 29 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | З844.1-060.6-1,0 |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 98-5/3327-7 |
| FB 9 98-5/3328-5 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
