Марголин, Владимир Игоревич - Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01

Карточка

Марголин, Владимир Игоревич.
Марголин, Владимир Игоревич.

Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / Санкт-Петербург. электротехн. ун-т. - Санкт-Петербург, 1998. - 29 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 98-5/3327-7
FB 9 98-5/3328-5

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПрецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 22.12.1998
Дата поступления в ЭБ 01.04.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиСанкт-Петербург. электротехн. ун-т
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1998
Физическое описание29 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.1-060.6-1,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-5/3327-7
FB 9 98-5/3328-5
Электронный адрес Электронный ресурс