Науменко, Эльфвра Вячеславовна - Применение математических моделей для выбора оптимальных параметров управления технологическим процессом постимплантационного отжига полупроводниковых структур : На примере InSb : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.16, 05.27.06

Карточка

Науменко, Эльфвра Вячеславовна.
Науменко, Эльфвра Вячеславовна.

Применение математических моделей для выбора оптимальных параметров управления технологическим процессом постимплантационного отжига полупроводниковых структур : На примере InSb : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.16, 05.27.06 / Моск. акад. тонкой хим. технологии. - Москва, 1997. - 18 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Применение вычислительной техники, математического моделирования и математических методов в научных исследованиях ( по отраслям наук )
FB 9 98-3/3066-X
FB 9 98-3/3067-8

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПрименение математических моделей для выбора оптимальных параметров управления технологическим процессом постимплантационного отжига полупроводниковых структур : На примере InSb : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.16, 05.27.06
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 01.10.1998
Дата поступления в ЭБ 02.04.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. акад. тонкой хим. технологии
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание18 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
Применение вычислительной техники, математического моделирования и математических методов в научных исследованиях ( по отраслям наук )
BBK-кодЗ843.324.608-64-5-05,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-3/3066-X
FB 9 98-3/3067-8
Электронный адрес Электронный ресурс