Науменко, Эльфвра Вячеславовна - Применение математических моделей для выбора оптимальных параметров управления технологическим процессом постимплантационного отжига полупроводниковых структур : На примере InSb : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.16, 05.27.06
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Науменко, Эльфвра Вячеславовна.
Применение математических моделей для выбора оптимальных параметров управления технологическим процессом постимплантационного отжига полупроводниковых структур : На примере InSb : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.16, 05.27.06 / Моск. акад. тонкой хим. технологии. - Москва, 1997. - 18 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Применение вычислительной техники, математического моделирования и математических методов в научных исследованиях ( по отраслям наук )
Шифр хранения:
FB 9 98-3/3066-X
FB 9 98-3/3067-8
Описание
Автор | Науменко, Эльфвра Вячеславовна |
---|---|
Заглавие | Применение математических моделей для выбора оптимальных параметров управления технологическим процессом постимплантационного отжига полупроводниковых структур : На примере InSb : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.16, 05.27.06 |
Коллекции ЕЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЕЭК | 01.10.1998 |
Дата поступления в ЭБ | 02.04.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Моск. акад. тонкой хим. технологии |
Выходные данные | Москва, 1997 |
Физическое описание | 18 с. |
Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
Применение вычислительной техники, математического моделирования и математических методов в научных исследованиях ( по отраслям наук ) | |
BBK-код | З843.324.608-64-5-05,0 |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 98-3/3066-X |
FB 9 98-3/3067-8 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |