Малинин, Александр Альфредович - Процесс образования новой фазы в кремнии, имплантированном ионами реактивной примеси : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Малинин, Александр Альфредович.

Процесс образования новой фазы в кремнии, имплантированном ионами реактивной примеси : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Моск. ин-т стали и сплавов. - Москва, 1990. - 22 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 90-8/947-5
FB 9 90-8/948-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПроцесс образования новой фазы в кремнии, имплантированном ионами реактивной примеси : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 06.12.1990
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. ин-т стали и сплавов
Выходные данныеМосква, 1990
Физическое описание22 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.251,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-8/947-5
FB 9 90-8/948-3