Трохин, Василий Евгеньевич - Получение особо чистых триметилалкоксисиланов для микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.19

Карточка

Трохин, Василий Евгеньевич.
Трохин, Василий Евгеньевич.

Получение особо чистых триметилалкоксисиланов для микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.19 / НИИ хим. реактивов и особо чистых хим. веществ. - Москва, 1993. - 21 с.
Химия и технология высокочистых веществ
FB 9 93-3/884-9
FB 9 93-3/885-7

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПолучение особо чистых триметилалкоксисиланов для микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.19
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 20.01.1994
Дата поступления в ЭБ 02.07.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНИИ хим. реактивов и особо чистых хим. веществ
Выходные данныеМосква, 1993
Физическое описание21 с.
ТемаХимия и технология высокочистых веществ
BBK-кодГ274.24-4,0
З844.1-060.2-64,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 93-3/884-9
FB 9 93-3/885-7
Электронный адрес Электронный ресурс