Борун, Александр Феликсович - Процессы фазообразования при ионном синтезе скрытых диэлектрических слоев в кремнии, имплантированном атомами кислорода и азота : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Борун, Александр Феликсович.
Борун, Александр Феликсович.

Процессы фазообразования при ионном синтезе скрытых диэлектрических слоев в кремнии, имплантированном атомами кислорода и азота : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Моск. ин-т электронной техники. - Москва, 1995. - 30 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 95-3/2642-7
FB 9 95-3/2643-5

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПроцессы фазообразования при ионном синтезе скрытых диэлектрических слоев в кремнии, имплантированном атомами кислорода и азота : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 04.06.1996
Дата поступления в ЭБ 28.04.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. ин-т электронной техники
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание30 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодЗ843.322.408-1,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 95-3/2642-7
FB 9 95-3/2643-5
Электронный адрес Электронный ресурс