Георгиева, Мария Генчева. - Повышение чувствительности интерференционного контроля шероховатости поверхности полупроводниковых пластин : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Моск. ин-т инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии. - Москва, 1988. - 19 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Георгиева, Мария Генчева.
Повышение чувствительности интерференционного контроля шероховатости поверхности полупроводниковых пластин : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Моск. ин-т инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии. - Москва, 1988. - 19 с.
Оптические и оптико-электронные приборы
Шифр хранения:
Повышение чувствительности интерференционного контроля шероховатости поверхности полупроводниковых пластин : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Моск. ин-т инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии. - Москва, 1988. - 19 с.
Оптические и оптико-электронные приборы
Шифр хранения:
FB 9 88-10/3315-2
FB 9 88-10/3316-0
Описание
| Автор | Георгиева, Мария Генчева |
|---|---|
| Заглавие | Повышение чувствительности интерференционного контроля шероховатости поверхности полупроводниковых пластин : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 23.01.1989 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Моск. ин-т инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии |
| Выходные данные | Москва, 1988 |
| Физическое описание | 19 с. |
| Тема | Оптические и оптико-электронные приборы |
| BBK-код | З844.15-06-7с343.4,0 |
| Специальность | 05.11.07: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 88-10/3315-2 |
| FB 9 88-10/3316-0 |
