Георгиева, Мария Генчева - Повышение чувствительности интерференционного контроля шероховатости поверхности полупроводниковых пластин : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07

Карточка

Георгиева, Мария Генчева.

Повышение чувствительности интерференционного контроля шероховатости поверхности полупроводниковых пластин : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Моск. ин-т инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии. - Москва, 1988. - 19 с.
Оптические и оптико-электронные приборы
FB 9 88-10/3315-2
FB 9 88-10/3316-0

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПовышение чувствительности интерференционного контроля шероховатости поверхности полупроводниковых пластин : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07
Дата поступления в ЭК 23.01.1989
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. ин-т инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии
Выходные данныеМосква, 1988
Физическое описание19 с.
ТемаОптические и оптико-электронные приборы
BBK-кодЗ844.15-06-7с343.4,0
Специальность05.11.07: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 88-10/3315-2
FB 9 88-10/3316-0