Трубин, Игорь Сергеевич - Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Трубин, Игорь Сергеевич.

Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / МГУ им. М. В. Ломоносова. - Москва, 1994. - 22 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 94-2/27-7
FB 9 94-2/28-5

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПовышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 28.06.1994
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМГУ им. М. В. Ломоносова
Выходные данныеМосква, 1994
Физическое описание22 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ844.15-060.14н631,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 94-2/27-7
FB 9 94-2/28-5