Трубин, Игорь Сергеевич. - Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / МГУ им. М. В. Ломоносова. - Москва, 1994. - 22 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Трубин, Игорь Сергеевич.
Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / МГУ им. М. В. Ломоносова. - Москва, 1994. - 22 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / МГУ им. М. В. Ломоносова. - Москва, 1994. - 22 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 94-2/27-7
FB 9 94-2/28-5
Описание
| Автор | Трубин, Игорь Сергеевич |
|---|---|
| Заглавие | Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 28.06.1994 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | МГУ им. М. В. Ломоносова |
| Выходные данные | Москва, 1994 |
| Физическое описание | 22 с. |
| Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
| BBK-код | З844.15-060.14н631,0 |
| Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 94-2/27-7 |
| FB 9 94-2/28-5 |
