Трубин, Игорь Сергеевич. - Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / МГУ им. М. В. Ломоносова. - Москва, 1994. - 22 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Трубин, Игорь Сергеевич.
Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / МГУ им. М. В. Ломоносова. - Москва, 1994. - 22 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / МГУ им. М. В. Ломоносова. - Москва, 1994. - 22 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 94-2/27-7
FB 9 94-2/28-5
Описание
Автор | Трубин, Игорь Сергеевич |
---|---|
Заглавие | Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 28.06.1994 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | МГУ им. М. В. Ломоносова |
Выходные данные | Москва, 1994 |
Физическое описание | 22 с. |
Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
BBK-код | З844.15-060.14н631,0 |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 94-2/27-7 |
FB 9 94-2/28-5 |