Михаэль Фенске - Разработка автоматизированного процесса выращивания кристаллов ниобата лития в условиях промышленного производства : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Михаэль Фенске.

Разработка автоматизированного процесса выращивания кристаллов ниобата лития в условиях промышленного производства : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / АН СССР. Ин-т общ. физики. - Москва, 1988. - 26 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 88-9/420-6
FB 9 88-9/421-4

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка автоматизированного процесса выращивания кристаллов ниобата лития в условиях промышленного производства : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 23.11.1988
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиАН СССР. Ин-т общ. физики
Выходные данныеМосква, 1988
Физическое описание26 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ94-5-040.2-037,0
Л288.57-5-05,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 88-9/420-6
FB 9 88-9/421-4