Токарев, Владимир Васильевич - Исследование закономерностей силицидообразования в имплантированных структурах металл-кремний : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07

Карточка

Токарев, Владимир Васильевич.

Исследование закономерностей силицидообразования в имплантированных структурах металл-кремний : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Ин-т физики твердого тела и полупроводников. - Минск, 1991. - 26 с.
Физика твердого тела
FB 9 92-5/2680-0
FB 9 98-10/1233-5

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование закономерностей силицидообразования в имплантированных структурах металл-кремний : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Дата поступления в ЭК 27.10.1998
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т физики твердого тела и полупроводников
Выходные данныеМинск, 1991
Физическое описание26 с.
ТемаФизика твердого тела
BBK-кодВ379.251.4-6,03
В379.271.5-6,03
Специальность01.04.07: Физика конденсированного состояния
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 92-5/2680-0
FB 9 98-10/1233-5