Сивоволов, Владимир Алексеевич - Разработка и исследование лазерного анализатора для контроля органических примесей в жидких технологических средах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07

Карточка

Сивоволов, Владимир Алексеевич.

Разработка и исследование лазерного анализатора для контроля органических примесей в жидких технологических средах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Ин-т электрон. техники. - Москва, 1990. - 19 с.
Оборудование производства электронной техники
FB 9 90-11/478-5
FB 9 90-11/479-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка и исследование лазерного анализатора для контроля органических примесей в жидких технологических средах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
Дата поступления в ЭК 15.03.1991
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т электрон. техники
Выходные данныеМосква, 1990
Физическое описание19 с.
ТемаОборудование производства электронной техники
BBK-кодЗ844.15-06-7,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-11/478-5
FB 9 90-11/479-3