Березин, Андрей Сергеевич. - Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электронной техники. - Москва, 1997. - 22 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Березин, Андрей Сергеевич.
Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электронной техники. - Москва, 1997. - 22 с.
Оборудование производства электронной техники
Шифр хранения:
Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электронной техники. - Москва, 1997. - 22 с.
Оборудование производства электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 98-5/3619-5
FB 9 98-5/3620-9
Описание
| Автор | Березин, Андрей Сергеевич |
|---|---|
| Заглавие | Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 23.12.1998 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 05.05.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Моск. ин-т электронной техники |
| Выходные данные | Москва, 1997 |
| Физическое описание | 22 с. |
| Тема | Оборудование производства электронной техники |
| BBK-код | З844.152-06-43,0 |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 98-5/3619-5 |
| FB 9 98-5/3620-9 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
