Березин, Андрей Сергеевич - Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07

Карточка

Березин, Андрей Сергеевич.
Березин, Андрей Сергеевич.

Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электронной техники. - Москва, 1997. - 22 с.
Оборудование производства электронной техники
FB 9 98-5/3619-5
FB 9 98-5/3620-9

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 23.12.1998
Дата поступления в ЭБ 05.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. ин-т электронной техники
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание22 с.
ТемаОборудование производства электронной техники
BBK-кодЗ844.152-06-43,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-5/3619-5
FB 9 98-5/3620-9
Электронный адрес Электронный ресурс