Чиликина, Марина Валерьевна. - Разработка и исследование материалов и технологии многослойных металлодиэлектрических структур методом диффузионной сварки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. гос. ин-т электронной техники. - Москва, 1997. - 20 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Чиликина, Марина Валерьевна.
Разработка и исследование материалов и технологии многослойных металлодиэлектрических структур методом диффузионной сварки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. гос. ин-т электронной техники. - Москва, 1997. - 20 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
Разработка и исследование материалов и технологии многослойных металлодиэлектрических структур методом диффузионной сварки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. гос. ин-т электронной техники. - Москва, 1997. - 20 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 98-4/3012-5
FB 9 98-4/3013-3
Описание
Автор | Чиликина, Марина Валерьевна |
---|---|
Заглавие | Разработка и исследование материалов и технологии многослойных металлодиэлектрических структур методом диффузионной сварки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 10.11.1998 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Моск. гос. ин-т электронной техники |
Выходные данные | Москва, 1997 |
Физическое описание | 20 с. |
Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
BBK-код | З26-043,0 |
З368.3,0 | |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 98-4/3012-5 |
FB 9 98-4/3013-3 |