Чиликина, Марина Валерьевна - Разработка и исследование материалов и технологии многослойных металлодиэлектрических структур методом диффузионной сварки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Чиликина, Марина Валерьевна.

Разработка и исследование материалов и технологии многослойных металлодиэлектрических структур методом диффузионной сварки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. гос. ин-т электронной техники. - Москва, 1997. - 20 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 98-4/3012-5
FB 9 98-4/3013-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка и исследование материалов и технологии многослойных металлодиэлектрических структур методом диффузионной сварки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 10.11.1998
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. гос. ин-т электронной техники
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание20 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ26-043,0
З368.3,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-4/3012-5
FB 9 98-4/3013-3