Истомина, Наталья Леонидовна - Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13

Карточка

Истомина, Наталья Леонидовна.
Истомина, Наталья Леонидовна.

Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13 / Московский гос. технол. ун-т им. К. Э. Циолковского. - Москва, 1995. - 15 с.
Системы и устройства радиотехники и связи
FB 9 95-4/2627-8
FB 9 95-4/2628-6

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 28.06.1996
Дата поступления в ЭБ 19.09.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМосковский гос. технол. ун-т им. К. Э. Циолковского
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание15 с.
ТемаСистемы и устройства радиотехники и связи
BBK-кодЗ844.1-07с343,0
Специальность05.12.13: Системы, сети и устройства телекоммуникаций
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 95-4/2627-8
FB 9 95-4/2628-6
Электронный адрес Электронный ресурс