Истомина, Наталья Леонидовна. - Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13 / Московский гос. технол. ун-т им. К. Э. Циолковского. - Москва, 1995. - 15 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Истомина, Наталья Леонидовна.
Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13 / Московский гос. технол. ун-т им. К. Э. Циолковского. - Москва, 1995. - 15 с.
Системы и устройства радиотехники и связи
Шифр хранения:
Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13 / Московский гос. технол. ун-т им. К. Э. Циолковского. - Москва, 1995. - 15 с.
Системы и устройства радиотехники и связи
Шифр хранения:
FB 9 95-4/2627-8
FB 9 95-4/2628-6
Описание
| Автор | Истомина, Наталья Леонидовна |
|---|---|
| Заглавие | Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 28.06.1996 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 19.09.2007 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Московский гос. технол. ун-т им. К. Э. Циолковского |
| Выходные данные | Москва, 1995 |
| Физическое описание | 15 с. |
| Тема | Системы и устройства радиотехники и связи |
| BBK-код | З844.1-07с343,0 |
| Специальность | 05.12.13: Системы, сети и устройства телекоммуникаций |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 95-4/2627-8 |
| FB 9 95-4/2628-6 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
