Белоусов, Вячеслав Михайлович - Разработка и исследование электроннолучевого оборудования для отжига и рекристаллизации структур интегральной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07

Карточка

Белоусов, Вячеслав Михайлович.
Белоусов, Вячеслав Михайлович.

Разработка и исследование электроннолучевого оборудования для отжига и рекристаллизации структур интегральной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Моск. гос. ин-т электроники и математики. - Москва, 1996. - 24 с.
Оборудование производства электронной техники
FB 9 97-3/1953-1
FB 9 97-3/1954-X

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка и исследование электроннолучевого оборудования для отжига и рекристаллизации структур интегральной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 02.12.1997
Дата поступления в ЭБ 20.09.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. гос. ин-т электроники и математики
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание24 с.
ТемаОборудование производства электронной техники
BBK-кодЗ844.15-060.16-5-01,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 97-3/1953-1
FB 9 97-3/1954-X
Электронный адрес Электронный ресурс