Ханеев, Николай Петрович - Разработка метода контроля и исследование процессов прямого высокочастотного плавления и направленной кристаллизации в холодном контейнере : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Ханеев, Николай Петрович.
Ханеев, Николай Петрович.

Разработка метода контроля и исследование процессов прямого высокочастотного плавления и направленной кристаллизации в холодном контейнере : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Рос. академия наук. Ин-т общей физики. - Москва, 1994. - 21 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 94-1/2383-3
FB 9 94-1/2384-1

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка метода контроля и исследование процессов прямого высокочастотного плавления и направленной кристаллизации в холодном контейнере : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 23.05.1994
Дата поступления в ЭБ 03.06.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиРос. академия наук. Ин-т общей физики
Выходные данныеМосква, 1994
Физическое описание21 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодВ375.14,03
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 94-1/2383-3
FB 9 94-1/2384-1
Электронный адрес Электронный ресурс