Беляевская, Елена Анатольевна - Развитие метода плосковолновой топографии применительно к исследованию монокристаллических подложек, используемых в технологии изготовления ИМС : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.18

Карточка

Беляевская, Елена Анатольевна.

Развитие метода плосковолновой топографии применительно к исследованию монокристаллических подложек, используемых в технологии изготовления ИМС : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.18 / Ин-т приклад. физики. - Кишинев, 1990. - 21 с.
Кристаллография, физика кристаллов
FB 9 90-9/2216-6
FB 9 90-9/2217-4

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазвитие метода плосковолновой топографии применительно к исследованию монокристаллических подложек, используемых в технологии изготовления ИМС : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.18
Дата поступления в ЭК 31.01.1991
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т приклад. физики
Выходные данныеКишинев, 1990
Физическое описание21 с.
ТемаКристаллография, физика кристаллов
BBK-кодВ372.134,03
З844.15-06,0
Специальность01.04.18: Кристаллография, физика кристаллов
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-9/2216-6
FB 9 90-9/2217-4