Абачев, Мирзафер Казанферович - Исследование формирования глубоких щелей в кремнии при плазмохимическом и реактивном ионном травлении в галогенсодержащих газах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Абачев, Мирзафер Казанферович.

Исследование формирования глубоких щелей в кремнии при плазмохимическом и реактивном ионном травлении в галогенсодержащих газах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Физико-технол. ин-т. - Москва, 1990. - 26 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 91-5/1291-2
FB 9 98-10/639-4

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование формирования глубоких щелей в кремнии при плазмохимическом и реактивном ионном травлении в галогенсодержащих газах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 11.11.1991
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиФизико-технол. ин-т
Выходные данныеМосква, 1990
Физическое описание26 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-060.18-1,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 91-5/1291-2
FB 9 98-10/639-4