Новиков, Игорь Владимирович - Кинетика генерации химически активных частиц в смесях хлор-фторсодержащих и инертных газов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Новиков, Игорь Владимирович.

Кинетика генерации химически активных частиц в смесях хлор-фторсодержащих и инертных газов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / НИИ физ. проблем. - Москва, 1992. - 15 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 92-5/954-x
FB 9 98-10/925-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеКинетика генерации химически активных частиц в смесях хлор-фторсодержащих и инертных газов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 16.02.1993
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНИИ физ. проблем
Выходные данныеМосква, 1992
Физическое описание15 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-060.14-1,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 92-5/954-x
FB 9 98-10/925-3