Башкин, Михаил Олегович - Низкотемпературные совмещенные процессы формирования структур диэлектрик-полупроводник (Si и A3 B5 ) : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Башкин, Михаил Олегович.

Низкотемпературные совмещенные процессы формирования структур диэлектрик-полупроводник (Si и A3 B5 ) : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина. - Москва, 1992. - 16 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 93-2/1198-5
FB 9 98-10/927-X

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеНизкотемпературные совмещенные процессы формирования структур диэлектрик-полупроводник (Si и A3 B5 ) : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 13.08.1993
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина
Выходные данныеМосква, 1992
Физическое описание16 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ843.320.8-1,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 93-2/1198-5
FB 9 98-10/927-X