Зиннурова, Эльвира Зульфакаровна - Моделирование структурнозависимых технологических процессов формирования и характеристик поликремниевого МДП-транзистора : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Зиннурова, Эльвира Зульфакаровна.
Экспресс-заказ фрагмента
Зиннурова, Эльвира Зульфакаровна.
Моделирование структурнозависимых технологических процессов формирования и характеристик поликремниевого МДП-транзистора : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Физ.-технол. ин-т. - Москва, 1992. - 15 с.

Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 92-3/1180-4
FB 9 98-10/932-6

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование структурнозависимых технологических процессов формирования и характеристик поликремниевого МДП-транзистора : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЕЭК 03.07.1992
Дата поступления в ЭБ 03.10.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиФиз.-технол. ин-т
Выходные данныеМосква, 1992
Физическое описание15 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ852.39-01с31,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 92-3/1180-4
FB 9 98-10/932-6
Электронный адрес Электронный ресурс