Погребицкий, Константин Юлианович - Рентгенофотоэлектронный количественный неразрушающий анализ профилей распределения состава по глубине в субмикронных гетероструктурах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Погребицкий, Константин Юлианович.

Рентгенофотоэлектронный количественный неразрушающий анализ профилей распределения состава по глубине в субмикронных гетероструктурах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Физико-технич. ин-т. - Санкт-Петербург, 1991. - 22 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 93-3/3161-1
FB 9 98-10/2034-6

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРентгенофотоэлектронный количественный неразрушающий анализ профилей распределения состава по глубине в субмикронных гетероструктурах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 27.08.1998
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиФизико-технич. ин-т
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1991
Физическое описание22 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодГ461.4-94,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 93-3/3161-1
FB 9 98-10/2034-6