Радаев, Александр Анатольевич - Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Радаев, Александр Анатольевич.
Радаев, Александр Анатольевич.

Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Моск. энерг. ин-т. - Москва, 1994. - 20 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 94-3/1109-5
FB 9 94-3/1110-9

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 13.02.1995
Дата поступления в ЭБ 06.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. энерг. ин-т
Выходные данныеМосква, 1994
Физическое описание20 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.1-06-7с114,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 94-3/1109-5
FB 9 94-3/1110-9
Электронный адрес Электронный ресурс