Радаев, Александр Анатольевич - Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Радаев, Александр Анатольевич.
Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Моск. энерг. ин-т. - Москва, 1994. - 20 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Моск. энерг. ин-т. - Москва, 1994. - 20 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 94-3/1109-5
FB 9 94-3/1110-9
Описание
Автор | Радаев, Александр Анатольевич |
---|---|
Заглавие | Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 13.02.1995 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 06.05.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Моск. энерг. ин-т |
Выходные данные | Москва, 1994 |
Физическое описание | 20 с. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
BBK-код | З844.1-06-7с114,0 |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 94-3/1109-5 |
FB 9 94-3/1110-9 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |