Дремова, Надежда Николаевна - Растровая электронная микроскопия многослойных структур в обратноотраженных электронах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Дремова, Надежда Николаевна.

Растровая электронная микроскопия многослойных структур в обратноотраженных электронах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. - Черноголовка, 1996. - 16 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 96-4/877-9
FB 9 96-4/878-7

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРастровая электронная микроскопия многослойных структур в обратноотраженных электронах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 07.04.1997
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
Выходные данныеЧерноголовка, 1996
Физическое описание16 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.1-01с341.2,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 96-4/877-9
FB 9 96-4/878-7