Дремова, Надежда Николаевна. - Растровая электронная микроскопия многослойных структур в обратноотраженных электронах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. - Черноголовка, 1996. - 16 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Дремова, Надежда Николаевна.
Растровая электронная микроскопия многослойных структур в обратноотраженных электронах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. - Черноголовка, 1996. - 16 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Растровая электронная микроскопия многослойных структур в обратноотраженных электронах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. - Черноголовка, 1996. - 16 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 96-4/877-9
FB 9 96-4/878-7
Описание
Автор | Дремова, Надежда Николаевна |
---|---|
Заглавие | Растровая электронная микроскопия многослойных структур в обратноотраженных электронах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 07.04.1997 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН |
Выходные данные | Черноголовка, 1996 |
Физическое описание | 16 с. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
BBK-код | З844.1-01с341.2,0 |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 96-4/877-9 |
FB 9 96-4/878-7 |