Лебедев, Сергей Владимирович. - Совершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ молекулярной электроники и з-д "Микрон". - Москва, 1997. - 21 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Лебедев, Сергей Владимирович.
Совершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ молекулярной электроники и з-д "Микрон". - Москва, 1997. - 21 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Совершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ молекулярной электроники и з-д "Микрон". - Москва, 1997. - 21 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 97-5/334-0
FB 9 97-5/335-9
FB 9 98-8/1871-9
FB 9 98-8/1872-7
Описание
Автор | Лебедев, Сергей Владимирович |
---|---|
Заглавие | Совершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 26.02.1998 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | НИИ молекулярной электроники и з-д "Микрон" |
Выходные данные | Москва, 1997 |
Физическое описание | 21 с. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
BBK-код | З844.152-01,0 |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 97-5/334-0 |
FB 9 97-5/335-9 | |
FB 9 98-8/1871-9 | |
FB 9 98-8/1872-7 |