Лебедев, Сергей Владимирович - Совершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Лебедев, Сергей Владимирович.

Совершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ молекулярной электроники и з-д "Микрон". - Москва, 1997. - 21 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 97-5/334-0
FB 9 97-5/335-9
FB 9 98-8/1871-9
FB 9 98-8/1872-7

Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеСовершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 26.02.1998
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНИИ молекулярной электроники и з-д "Микрон"
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание21 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.152-01,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 97-5/334-0
FB 9 97-5/335-9
FB 9 98-8/1871-9
FB 9 98-8/1872-7