Филатова, Маргарита Сергеевна - Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Филатова, Маргарита Сергеевна.
Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Физ.-техн. ин-т. - Москва, 1996. - 23 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Физ.-техн. ин-т. - Москва, 1996. - 23 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 98-1/109-1
FB 9 98-1/110-5
Описание
Автор | Филатова, Маргарита Сергеевна |
---|---|
Заглавие | Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 05.04.1998 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 20.09.2007 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Физ.-техн. ин-т |
Выходные данные | Москва, 1996 |
Физическое описание | 23 с. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
BBK-код | З844.16-060.6-5-015,0 |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 98-1/109-1 |
FB 9 98-1/110-5 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |