Филатова, Маргарита Сергеевна. - Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Физ.-техн. ин-т. - Москва, 1996. - 23 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Филатова, Маргарита Сергеевна.
Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Физ.-техн. ин-т. - Москва, 1996. - 23 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Физ.-техн. ин-т. - Москва, 1996. - 23 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 98-1/109-1
FB 9 98-1/110-5
Описание
| Автор | Филатова, Маргарита Сергеевна |
|---|---|
| Заглавие | Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 05.04.1998 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 20.09.2007 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Физ.-техн. ин-т |
| Выходные данные | Москва, 1996 |
| Физическое описание | 23 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | З844.16-060.6-5-015,0 |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 98-1/109-1 |
| FB 9 98-1/110-5 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
