Филатова, Маргарита Сергеевна - Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Филатова, Маргарита Сергеевна.
Филатова, Маргарита Сергеевна.

Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Физ.-техн. ин-т. - Москва, 1996. - 23 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 98-1/109-1
FB 9 98-1/110-5

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеСинтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 05.04.1998
Дата поступления в ЭБ 20.09.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиФиз.-техн. ин-т
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание23 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.16-060.6-5-015,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-1/109-1
FB 9 98-1/110-5
Электронный адрес Электронный ресурс