Борзенко, Татьяна Борисовна - Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Борзенко, Татьяна Борисовна.

Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 1996. - 185 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
OD 61 96-1/318-5

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 18.11.1996
Каталоги Диссертации
Выходные данныеЧерноголовка, 1996
Физическое описание185 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодВ381.9,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-1/318-5