Иванов, Алексей Сергеевич - Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.11

Карточка

Иванов, Алексей Сергеевич.

Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.11. - Санкт-Петербург, 1994. - 147 с.
Методы контроля и диагностика в машиностроении
лазерные методы контроля
OD 61 96-5/1332-4

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИнтерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.11
Дата поступления в ЭК 18.11.1996
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1994
Физическое описание147 с.
ТемаМетоды контроля и диагностика в машиностроении
лазерные методы контроля
Специальность05.02.11: Методы контроля и диагностика в машиностроении
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-5/1332-4