Урицкий, Валерий Яковлевич. - Формирование и электрофизические характеристики многослойных структур на основе системы кремний-диоксид кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 1995. - 341 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Урицкий, Валерий Яковлевич.
Формирование и электрофизические характеристики многослойных структур на основе системы кремний-диоксид кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 1995. - 341 с. : ил.

Физика полупроводников и диэлектриков
многослойные структуры
Шифр хранения:
OD 71 96-1/148

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФормирование и электрофизические характеристики многослойных структур на основе системы кремний-диоксид кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЭК РГБ 12.12.1996
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1995
Физическое описание341 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
Термины-указателимногослойные структуры
BBK-кодВ379.271.5,03
В379.251.4,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 96-1/148