Урицкий, Валерий Яковлевич - Формирование и электрофизические характеристики многослойных структур на основе системы кремний-диоксид кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Урицкий, Валерий Яковлевич.

Формирование и электрофизические характеристики многослойных структур на основе системы кремний-диоксид кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 1995. - 341 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
многослойные структуры
OD 71 96-1/148-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФормирование и электрофизические характеристики многослойных структур на основе системы кремний-диоксид кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 12.12.1996
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1995
Физическое описание341 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
многослойные структуры
BBK-кодВ379.271.5,03
В379.251.4,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 96-1/148-3