Мартюшенко, Алексей Викторович - Моделирование тепло-массопереноса и оптимизации газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Мартюшенко, Алексей Викторович.
Моделирование тепло-массопереноса и оптимизации газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1995. - 133 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
тепло-массоперенос
реакторы химического осаждения
химическое осаждение
осаждение, химическое
Шифр хранения:
Моделирование тепло-массопереноса и оптимизации газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1995. - 133 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
тепло-массоперенос
реакторы химического осаждения
химическое осаждение
осаждение, химическое
Шифр хранения:
OD 61 96-1/370-3
Описание
Автор | Мартюшенко, Алексей Викторович |
---|---|
Заглавие | Моделирование тепло-массопереноса и оптимизации газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 26.02.1997 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Москва, 1995 |
Физическое описание | 133 с. : ил. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
Термины-указатели | тепло-массоперенос |
реакторы химического осаждения | |
химическое осаждение | |
осаждение, химическое | |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 96-1/370-3 |