Мартюшенко, Алексей Викторович - Моделирование тепло-массопереноса и оптимизации газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Мартюшенко, Алексей Викторович.

Моделирование тепло-массопереноса и оптимизации газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1995. - 133 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
тепло-массоперенос
реакторы химического осаждения
химическое осаждение
осаждение, химическое
OD 61 96-1/370-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование тепло-массопереноса и оптимизации газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 26.02.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание133 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
тепло-массоперенос
реакторы химического осаждения
химическое осаждение
осаждение, химическое
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-1/370-3