Лохоткин, Сергей Владимирович - Исследование и разработка автоматических меточных измерителей, расходов технологических газов в микроэлектронике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.07

Экспресс-заказ фрагмента
Лохоткин, Сергей Владимирович.
Исследование и разработка автоматических меточных измерителей, расходов технологических газов в микроэлектронике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.07. - Москва, 1996. - 179 с.

Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
микроэлектроника
меточные измерители
технологические газы
Шифр хранения:
OD 61 96-5/1545-9

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка автоматических меточных измерителей, расходов технологических газов в микроэлектронике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.07
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 18.02.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание179 с.
ТемаАвтоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
микроэлектроника
меточные измерители
технологические газы
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-5/1545-9