Лохоткин, Сергей Владимирович - Исследование и разработка автоматических меточных измерителей, расходов технологических газов в микроэлектронике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.07

Карточка

Лохоткин, Сергей Владимирович.

Исследование и разработка автоматических меточных измерителей, расходов технологических газов в микроэлектронике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.07. - Москва, 1996. - 179 с.
Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
микроэлектроника
меточные измерители
технологические газы
OD 61 96-5/1545-9

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка автоматических меточных измерителей, расходов технологических газов в микроэлектронике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.07
Дата поступления в ЭК 18.02.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание179 с.
ТемаАвтоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
микроэлектроника
меточные измерители
технологические газы
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-5/1545-9