Филатова, Маргарита Сергеевна - Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхронного излучения : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Филатова, Маргарита Сергеевна.

Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхронного излучения : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Москва, 1996. - 168 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
рентгенолитография
OD 61 96-1/919-1

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеСинтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхронного излучения : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 25.02.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание168 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
рентгенолитография
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-1/919-1