Шевченко, Андрей Геннадьевич - Разработка физико-химических основ получения многокомпонентных твердых растворов на основе InAs в поле температурного градиента : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Шевченко, Андрей Геннадьевич.

Разработка физико-химических основ получения многокомпонентных твердых растворов на основе InAs в поле температурного градиента : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Новочеркасск, 1996. - 245 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
температурный градиент
OD 61 96-5/661-1

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка физико-химических основ получения многокомпонентных твердых растворов на основе InAs в поле температурного градиента : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 01.04.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеНовочеркасск, 1996
Физическое описание245 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
температурный градиент
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-5/661-1