Жариков, Сагиндык Киякбаевич - Исследование приповерхностных слоев кремния, имплантированного высокими дозами углерода с помощью ИК-спектроскопии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Жариков, Сагиндык Киякбаевич.

Исследование приповерхностных слоев кремния, имплантированного высокими дозами углерода с помощью ИК-спектроскопии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Алматы, 1996. - 152 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Кремний
OD 61 96-1/472-6

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование приповерхностных слоев кремния, имплантированного высокими дозами углерода с помощью ИК-спектроскопии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 04.04.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеАлматы, 1996
Физическое описание152 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Кремний
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-1/472-6