Коломиец, Владимир Иванович - Разработка методов оценки и обеспечения коррозионной стойкости алюминиевой металлизации КМОП ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01

Экспресс-заказ фрагмента
Коломиец, Владимир Иванович.
Разработка методов оценки и обеспечения коррозионной стойкости алюминиевой металлизации КМОП ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 1996. - 167 с.

Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
металлизация алюминиевая
стойкость коррозионная
коррозия
Шифр хранения:
OD 61 96-0/158-7

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка методов оценки и обеспечения коррозионной стойкости алюминиевой металлизации КМОП ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЭК РГБ 05.03.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание167 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
металлизация алюминиевая
стойкость коррозионная
коррозия
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-0/158-7