Армягова, Оксана Павловна - Исследование условий и разработка технологии получения эпитаксиальных структур антимонида индия для многоэлементных фотоприемников : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Армягова, Оксана Павловна.

Исследование условий и разработка технологии получения эпитаксиальных структур антимонида индия для многоэлементных фотоприемников : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1996. - 132 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
эпитаксиальные структуры
фотоприемники
OD 61 96-0/159-5

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование условий и разработка технологии получения эпитаксиальных структур антимонида индия для многоэлементных фотоприемников : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 05.03.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание132 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
эпитаксиальные структуры
фотоприемники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-0/159-5