Семенов, Олег Юрьевич - Разработка и исследование технологии изготовления структур "кремний на изоляторе" с применением избирательного химического травления кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Семенов, Олег Юрьевич.

Разработка и исследование технологии изготовления структур "кремний на изоляторе" с применением избирательного химического травления кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1996. - 229 с. : ил.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
химическое травление
OD 61 96-0/176-5

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка и исследование технологии изготовления структур "кремний на изоляторе" с применением избирательного химического травления кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 06.03.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание229 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
химическое травление
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-0/176-5