Громов, Дмитрий Геннадьевич - Исследование и разработка технологии изготовления термостабильных слабопроникающих контактных систем кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Громов, Дмитрий Геннадьевич.

Исследование и разработка технологии изготовления термостабильных слабопроникающих контактных систем кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 1996. - 159 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
кремниевые ИС
OD 61 96-0/181-1

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка технологии изготовления термостабильных слабопроникающих контактных систем кремниевых ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 06.03.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание159 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
кремниевые ИС
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-0/181-1