Зюрюкин, Андрей Викторович - Компьютерное моделирование процессов распространения и осаждения аэрозольных частиц в локальных чистых объемах микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07

Карточка

Зюрюкин, Андрей Викторович.

Компьютерное моделирование процессов распространения и осаждения аэрозольных частиц в локальных чистых объемах микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07. - Москва, 1996. - 232 с. : ил.
Оборудование производства электронной техники
микроэлектроника
OD 61 96-0/183-8

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеКомпьютерное моделирование процессов распространения и осаждения аэрозольных частиц в локальных чистых объемах микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07
Дата поступления в ЭК 06.03.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание232 с. : ил.
ТемаОборудование производства электронной техники
микроэлектроника
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-0/183-8