Бесоногов, Валерий Валентинович - Исследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : диссертация ... кандидата технических наук : 05.12.13

Экспресс-заказ фрагмента
Бесоногов, Валерий Валентинович.
Исследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : диссертация ... кандидата технических наук : 05.12.13. - Ижевск, 1996. - 129 с. : ил.

Системы и устройства радиотехники и связи
магнетронное распыление
строение пленок
Шифр хранения:
OD 61 96-5/1565-3

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : диссертация ... кандидата технических наук : 05.12.13
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 20.03.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеИжевск, 1996
Физическое описание129 с. : ил.
ТемаСистемы и устройства радиотехники и связи
магнетронное распыление
строение пленок
Специальность05.12.13: Системы, сети и устройства телекоммуникаций
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-5/1565-3