Бесоногов, Валерий Валентинович - Исследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : диссертация ... кандидата технических наук : 05.12.13

Карточка

Бесоногов, Валерий Валентинович.

Исследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : диссертация ... кандидата технических наук : 05.12.13. - Ижевск, 1996. - 129 с. : ил.
Системы и устройства радиотехники и связи
магнетронное распыление
строение пленок
OD 61 96-5/1565-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : диссертация ... кандидата технических наук : 05.12.13
Дата поступления в ЭК 20.03.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеИжевск, 1996
Физическое описание129 с. : ил.
ТемаСистемы и устройства радиотехники и связи
магнетронное распыление
строение пленок
Специальность05.12.13: Системы, сети и устройства телекоммуникаций
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-5/1565-3