Мавлянов, Равшан Каршибаевич. - Получение аморфных и микрокристаллических тонкопленочных материалов а-Si1-x C x : H, μ c-Si: H исследование свойств пленок и приборных структур на их основе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 1996. - 163 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Мавлянов, Равшан Каршибаевич.
Получение аморфных и микрокристаллических тонкопленочных материалов а-Si1-x C x : H, μ c-Si: H исследование свойств пленок и приборных структур на их основе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 1996. - 163 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
тонкопленочные материалы
Шифр хранения:
Получение аморфных и микрокристаллических тонкопленочных материалов а-Si1-x C x : H, μ c-Si: H исследование свойств пленок и приборных структур на их основе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 1996. - 163 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
тонкопленочные материалы
Шифр хранения:
OD 61 96-1/488
Описание
Автор | Мавлянов, Равшан Каршибаевич |
---|---|
Заглавие | Получение аморфных и микрокристаллических тонкопленочных материалов а-Si1-x C x : H, μ c-Si: H исследование свойств пленок и приборных структур на их основе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 03.04.1997 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Санкт-Петербург, 1996 |
Физическое описание | 163 с. : ил. |
Тема | Физика полупроводников и диэлектриков |
Термины-указатели | тонкопленочные материалы |
BBK-код | В379.224-6,03 |
Специальность | 01.04.10: Физика полупроводников |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 96-1/488 |