Мавлянов, Равшан Каршибаевич - Получение аморфных и микрокристаллических тонкопленочных материалов а-Si1-x C x : H, μ c-Si: H исследование свойств пленок и приборных структур на их основе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Мавлянов, Равшан Каршибаевич.

Получение аморфных и микрокристаллических тонкопленочных материалов а-Si1-x C x : H, μ c-Si: H исследование свойств пленок и приборных структур на их основе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 1996. - 163 с. : ил.
Физика полупроводников и диэлектриков
тонкопленочные материалы
OD 61 96-1/488-2

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПолучение аморфных и микрокристаллических тонкопленочных материалов а-Si1-x C x : H, μ c-Si: H исследование свойств пленок и приборных структур на их основе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 03.04.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1996
Физическое описание163 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
тонкопленочные материалы
BBK-кодВ379.224-6,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-1/488-2