Поляков, Вадим Витальевич - Осаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Поляков, Вадим Витальевич.
Поляков, Вадим Витальевич.

Осаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Таганрог, 1995. - 135 с. : ил.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
радиационный
OD 61 96-5/918-1

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеОсаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 06.05.1997
Дата поступления в ЭБ 12.04.2011
Каталоги Диссертации
Выходные данныеТаганрог, 1995
Физическое описание135 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
радиационный
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-5/918-1
Электронный адрес Электронный ресурс